1. CDS-archive
  2. All Volumes and Issues
  3. Number 828, 2015
  4. Application of structural matrices for the simulation of MEMS devices

Application of structural matrices for the simulation of MEMS devices

CDS-archive.
2015;
, Number 828
: pp. 53 – 56
Authors: 

Karkulovskyi B., Karkulovskyy V., Kryvyy R., Panchak R., Pauchok O.

B. Karkulovskyi1, V. Karkulovskyy2, R. Kryvyy2, R. Panchak2, O. Pauchok2

  1. Lviv Polytechnic National University, ISM Department.
  2. Lviv Polytechnic National University, CAD Department.

In the article the approach to modeling of MEMS devices using the method of structural matrices is presented. The structure of the subsystem to determine the basic characteristics of a broad class of devices.

MEMS device
mathematical model
differential equation
structural matrices
  1. Теслюк В. М. Автоматизація проектування мікроелектромеханічних систем на компо- нентному рівні: монографія / В. М. Теслюк, П. Ю. Денисюк. – Л.: Вид-во Нац. ун-ту "Львівська політехніка", 2011.
  2. Karkulovskyi B. Modeling method for mechanical microsystems elements / Karkulovskyi B., Teslyuk V, Kernytskyy A. // Вісник Нац. ун-ту "Львівська політехніка". Комп'ютерні системи проектування. Теорія і практика. – Л.: Вид-во Львівської політехніки, 2012. – № 747. – С. 147–149. – 192 c.
  3. Шатихин Л. Г. Структурные матрицы и их применение для исследования систем / Л. Г. Шатихин. – М.: Машиностроение, 1991. – 256 с.