Розрахунок та аналіз вихідних параметрів мікроакселерометра ємнісного типу

2007;
: pp. 123 – 129
Authors: 
Теслюк В. М., Загарюк Р. В. Кушнір О.

Національний університет «Львівська політехніка», кафедра систем автоматизованого проектування

In this paper, an investigation of microaccelerometer functionality parameters is proposed. A mathematical model for the device was built; parameters calculations were performed. Also, an integral circuit for output parameters analysis has been proposed.

1. Лучинин В.В. Микросистемная техника. Направления и тенденции развития // Научное приборостроение. – 1999. – Т. 9, № 1. – С. 3–18. 2. Климов Д.М., Васильев А.А., Лучинин В.В., Мальцев П.П. Перспективы развития микросистемной техники в XXI веке // Микросистемная техника. – 1999. – № 1. –С. 3–6. 3. Теслюк В.М. Побудова множини можливих рішеннь з допомогою І – АБО – дерева при вирішенні задач структурного синтезу на системному рівні проектування МЕМС // Інформаційні технології і системи. – Львів, 2006. – Т. 9, № 1. – C. 101–108. 4. Качяев И.А., Котов В.Н., Клиндухов В.Г., Кухаренко А.П. Микроэлектронные сенсорные системы опыт создания и применения // Микросистемная техника. – 1999. – № 1. – С. 32–35. 5. Норенков И.П. Основы теории и проектирования САПР. – М.: Высш. шк., 1990. – 334 с. 6. Тамм И.Е. Основы теории электричества: Учеб. опособие для вузов. – 10-е изд., испр. – М.: Наука, 1989. – 504 с. 7. Теслюк В.М., Раєвський П.Ю., Лобур М.В., Денисюк П.Ю. Модель інтегрального сенсора електростатичного типу // Вісн. Нац. ун-ту “Львівська політехніка”: – Львів, 2004. – № 522. – С. 175–180. 8. Teslyuk V., Lobur M., Rayevskyy P., Kernytskyy A., Denysyuk P. Design of Output Parameters of Integral Capacity Sensor // Proc of the VIII-th Intern. Conf. on The Experience of Designing and Application of CAD Systems in Microelectronics (CADSM’2005). – Lviv – Polyana, Ukraine, 2005. – P. 528–530. 9. Нестеренко Б.К. Интегральные операционные усилители. – М.: Энергоиздат, 1982. 10. Вайсбурд Ф.И., Панаев Г.А., Савельев Б.Н. Электронные приборы и усилители. – М.: Радио и связь, 1987. 11. Иванцив Р.-А.Д., Романюк С.Ф. и Сакаль В.М. Фазовый детектор: Описание изобретения к авторскому свидетельству СССР № 686140, 1977.