Моделювання механічних компонентів інтегральних Акселерометрів

Authors:

Karkulovskyy B., Karkulovskyy V., Bolshevskyy R.

B. Karkulovskyy-1 , V. Karkulovskyy-2 , R. Bolshevskyy-2

Lviv Polytechnic National University, ASU Department,
Lviv Polytechnic National University, CAD Department

Подано моделі інтегрованого акселерометра. Отримано в аналітичному вигляді рішення диференціального рівняння, що описує цю модель.

інтегральний акселерометр

математична модель

диференціальне рівняння

граничні умови.

1. Teslyuk V., Zaharyuk R., Chura I., Karkulyovskyy V. Modeling Of Capacitive Accelerometer // Proc. of the 1st Inter. Conf. of Young Scientists “Perspective Technologies and Methods in MEMS Design” (MEMSTECH 2005).– Lviv–Polyana, Ukraine, 2005. – P. 52–53. 2. Кособуцький П. С. Моделювання коливань простих систем : монографія / П. С. Кособуцький, М. В. Лобур. - Львів: Нац. ун-т “Львівська політехніка”, 2003. – 224 c.