Applying COMSOL Multiphysics for research and development of capacitive pressure sensor

Authors:

Marikutsa U., Narushynska О., Medvid A.

Lviv Polytechnic National University

Спроектовано та досліджено моделі давача тиску ємнісного типу в середовищі Comsol. Застосовано алгоритм побудови моделі за допомогою пакета Comsol.

система автоматизованого проектування

МЕМС – мікроелектромеханічні системи

Лучинин В. В. Микросистемная техника. Направления и тенденции развития / В. В. Лучинин // Научное приборостроение. – 1999. – Т. 9, № 1. – С. 3–18.
Климов Д. М. Перспективы развития микросистемной техники в XXI веке / Климов Д. М., Васильев А. А., Лучинин В. В., Мальцев П. П. // Микросистемная техника. – 1999. – № 1. – С. 3–6.
Норенков И. П. Основы теории и проектирования САПР / Норенков И. П. – М.: Высш. шк., 1990. – 334 с.
Готра З. Ю. Мікроелектронні сигнальні перетворювачі теплових сенсорів потоку : монографія / З. Ю. Готра, С. В. Павлов, Р. Л. Голяка та ін. – Вінниця : ВНТУ, 2012. – 240 с.
Бурштинський М. В. Давачі / М. В. Бурштинський, М. В. Хай, Харчишин Б. М. – 2-ге вид. доповн. – Львів : ТзОВ “Простір М”, 2014. – 202 с.
Фрайден Дж. Современные датчики : справочник / Дж. Фрайден. – М.: Техносфера, 2005. – 592 с.
Pryor R. W. Multiphysics Modeling Using COMSOL: A First Principles Approach. Boston, USA: Jones and Bartlett Publishers, 2011.