До теорії дисторсійних спотворень РЕМ-зображень

1
Волинський державний університет імені Лесі Українки
2
Луцький Національний Технічний Університет

У статті розглядаються спотворення РЕМ-зображень, зумовлені недосконалістю процесу сканування електронним зондом поверхні мікрооб'єктів.  Запропоновано теоретичні основи двох методів обліку подібних спотворень.

  1. Вариченко Л.В., Раков М.А., Томин Ю.А. Математические модели и архитектура систем обработки аэрокосмических данных дистанционного зондирования //Косм, наука и техника. - 1990. - Вып.5. - С. 56-62.
  2. Головчин В.Р. Цифровые методы коррекции геометрических искажений аэрокосмических снимков //Тр. Гос. н.-иссл. центра изуч. природных ресурсов. - 1990. -№36. - С. 10-38.
  3. Zdanovich V.V.. Klokov V.l., Lakunin A.V., Romanenko A.J. Solid Surface Image Processing // LSP1C-90. Riga. - V.2. - P.363-367.
  4. B.H. Мельник, В.Н.Соколов, М.П.Шебатинов, О.М.Иванчук. Анализ погрешностей стереоизмерений в растровой электронной микроскопии // Изв. АН СССР. Сер. физ. - 1997. - №3. - С.468-474.
  5. Соколов В Н., Юрковец Д.И., Мельник В.Н. Анализ РЭМ- стереоизображений. Изв. АН. Сер.физич., 1996. - Т.60. - №2. - С.55-64.
  6. Соколов В Н.. Мельник В.Н., Юрковец Д.И. Анализ геометрической коррекции цифровых РЭМ- изображений //XVIII Российская конф. по электронной микроскопии. Черноголовка, 2000.С. 141-142.
  7. Д.М. Устинин. Анализ параметров наноструктур методом морфологического анализа изображений // XIII Российский симпозиум по растровой электронной микроскопии. Черноголовка, 2003. - С.109.
  8. Б.Н.Радионов. Динамическая фотограмметрия. - М.:Недра, 1983. - 311 с.
  9. Гоулдетейн Дж„ Ныоберн Д., Єчлии П. Растровая електронная микроскопия и рентгеновский анализ. В 2-х кн. Пер. с англ. - М. : Мир, 1984. - 303 с.
  10. Bunde H.J. Mathematische Methoden der Textur analyse. - Berlin: Academie Verlag, 1969. - 325 c.
  11. B.H.Мельник, В.Н.Соколов. О регуляризирующем построении по РЭМ-изображениям ЦММР // XVI Российская конференция по электрон, микроскопии. Черноголовка, 1996. - С.33-34.
  12. А.Н.Тихонов., В.Я.Арсенин. Методы решения некорректных задач. -М.: Наука, 1986. - 287 с.
  13. А.Н.Василенко. Теория восстановления сигналов. - М.: Советское радио, 1979. - 270 с.К теории дисторсионных искажений РЭМ-изображений