Мета. Відомо, що цифровим зображенням мікроповерхонь твердих тіл, отриманим на растрових електронних мікроскопах (РЕМ) різних типів, притаманні значні геометричні спотворення, які можна розділити на дві групи: лінійні (масштабні) і нелінійні (дисторсійні). Їх встановлення і врахування є вкрай важливим завданням, особливо під час створення різноманітних мікропристроїв із застосуванням сучасних нанотехнологій. Це запорука їх надійності, точності та ефективності. Методика. Для встановлення і дослідження дійсних значень основного метричного параметра РЕМ-106І – величин його збільшень (масштабу) були використані спеціальні тест-об’єкти (голографічні тест-решітки з роздільними здатностями r=1425 лін/мм і r=3530 лін/мм), цифрові РЕМ-зображення яких були отримані на РЕМ-106І в діапазоні збільшень від 1000х до 30000х. Опрацювання (вимірювання) цифрових РЕМ-знімків виконувалось за допомогою спеціальної підпрограми “Test-Measuring” програмного комплексу “Dimicros”. Результати. Отримані дійсні значення збільшень РЕМ-зображень тест-об’єктів показали, що їхні відхилення від встановлених значень за шкалою РЕМ становлять: вздовж осі х знімка – від приблизно + 2 % (при Мх від 1000х до 5000х) до – 1 % (за Мх від 8000х до 30000х), а вздовж осі у знімка – від + 1 % (за Мх від 1000х до 5000х) до – 4 % (за Мх від 8000х до 30000х). Точність вимірів Мх становить приблизно ± 0,5 %. Отже, спотворення масштабів РЕМ-зображень, отриманих на РЕМ-106І вітчизняного виробництва, порівняно незначне. Однак під час високоточних досліджень кількісних параметрів мікроповерхонь твердих тіл його необхідно враховувати. Наукова новизна. Таке дослідження РЕМ-106І виконувалось в Україні вперше. Запропонована технологічна схема досліджень і використане авторське програмне забезпечення показали його ефективність і доцільність. Практична значущість. Застосування цієї технології і встановлення дійсних значень збільшень (масштабу) цифрових РЕМ-зображень мікроповерхонь твердих тіл дає змогу з високою точністю встановлювати їх просторові кількісні параметри, а отже, підвищувати надійність і ефективність виготовлених з них пристроїв, механізмів, матеріалів тощо.
- Іванчук О.М. Структура та функції програмного комплексу “Dimicros” для опрацювання РЕМ-зображень на цифровій фотограмметричній станції / О.М. Іванчук, І.В. Хрупін // Сучасні досягнення геодезичної науки та виробництва. – Львів, 2012. – Вип. I (23). – С. 193–197.
- Іванчук О.М. Дослідження точності визначення дійсних величин збільшення (масштабу) цифрових РЕМ-зображень, отриманих на РЕМ JCM-5000 (NeoScope) фірми JEOL // Геодезія, картографія і аерознімання. – Львів, 2012. – Вип. 76. – С. 80–84.
- Іванчук О.М. Дослідження величин геометричних спотворень цифрових РЕМ-зображень, отриманих на РЕМ DSM-960A (Carl Zeiss, Німеччина) та точності їх врахування / О.М. Іванчук, Т. Барфельс, Я. Гееґ, В. Геґєр // Геодезія, картографія і аерознімання. – Львів, 2013. – Вип. 78. – С. 120–126.
- Костышин М.Т. Квантовая электроника / М.Т. Костышин, К.С. Мустафин. – К., 1982. – Вып. 23. – С. 29–33.
- Калантаров Е.И. Фотограмметрическая калибровка электронных микроскопов / Е.И. Калантаров, М.Ж. Сагындыкова // Изв. вузов. Геодезия и аэрофотосъемка. – M., 1983. – № 4. – С. 76–80.
- Мельник В.Н. Калибровка геометрических искажений РЭМ-снимков / В.Н. Мельник, В.Н. Соколов, О.М. Иванчук, О.В. Тумская, М.П. Шебатинов // Рук. деп. в ВИНИТИ. – M., 1984. – № 528. – 18 c.
- Мельник В.М. Растрово-електронна стереомікрофракторафія: монографія / В.М. Мельник, А.В. Шостак. – Луцьк: Вежа, 2009. – 469 с.
- Финковский В.Я. К теории фотограмметрической обработки РЭМ-снимков / В.Я. Финковский, В.Н. Мельник, О.М. Иванчук // Геодезия и картография. – 1984. – № 2. – С. 29–33.
- Шостак А. В. Методи і моделі мікрофотограмметрії у прикладних наукових дослідженнях: автореф. дис… докт. техн. наук : 05.24.01 / А. В. Шостак; Луцький нац. техн. університет. – К., 2012. – 28 с.
- Boyde A. Photogrammetry and Scanning electron microscopy / A. Boyde, H.F. Ross // Photogrammetric Record. – 1975. – Vol. 8. – № 46. – P. 408–457.
- Burkhardt R. Untersuchungen zur kalibrirung eines Elektronen mikroskopes // Mitt. geod. Inst. Techn. Univ. Graz. – 1980. – № 35.
- Ghosh S.K. Photogrammetric calibration of a scanning electron microscope // Photogrammetria. – 1975. – V. 31. – № 31. – P. 91–114.
- Ghosh S.K. Scanning Electron Micrography and Photogrammetry / S.K. Ghosh, H. Nagaraja // Photogrammetric Engineering and Remote Sensing. – 1976. – Vol. 42. – № 5. – P. 649–657.
- Howell P. A practical method for the correction of distortions in SEM photogrammetry // Proc. Of the Annual Scanning Electron Microscope Symposium. Chicago, Illinois. – 1975. – P. 199–206.