Вимірювання електричного опору мікророзмірних об'єктів

2012;
: pp. 19-21
1
Національний університет “Львівська політехніка”
2
Національний університет “Львівська політехніка”
3
Національний університет “Львівська політехніка”

Здійснено аналітичний огляд методів вимірювання електричного опору. На основі проведеного аналізу зроблено висновок про доцільність застосування методу безконтактного вимірювання електричного опору мікрооб’єктів.

1. Журавлёв Л.Г., Филатов В.И. Физические методы исследования металлов и сплавов: учеб. пособие для студентов металлургических специальностей. – Челябинск: Изд-во ЮУрГУ, 2004. – 157 с.

2. Лившиц Б.Г., Крапошин B.C., Линецкий Я.Л. Физические свойства металлов и сплавов. – М: Металлургия, 1980. – 320 с. 3. Демин Ю.Н. Физика металлов: учеб. пособие. – М.: МГИУ, 2003.

4. Транзисторы на углеродных нанотрубках откроют эру производства дешевых электронных устройств [Електронний ресурс] – Режим доступу до інформації:  http://www.temperatures.ru/mtsh/mtsh9. htmlhttp:// www.dailytechinfo.org/nanotech/2135-tranzistory- na-uglerodnyx-nanotrub...

5. Основы метрологии и электрические измерения: учеб. для вузов / под ред. Е.Д. Душина. – М.: Энергия, 1980.

6.Малиновский В.Н. Электрические измерения: учеб. для техникумов (с лабораторными работами). – М.: Энергоиздат, 1982. – 392 с.

7. Панев Б.И. Электрические измерения: справочник (в вопросах и ответах). – М.: Агропромиздат, 1987. – 224 с.