etching

Чутливий елемент акселерометра на основі наноструктур кремнію

У роботі розглянуто чутливий елемент акселе­рометра, виконаний з використанням суміщеної тех.­нології створення структур кремній-на-ізоляторі та ниткоподібних нанокристалів кремнію. На його основі розроблено малоінерційний, швидко­діючий, високочутливий до прискорення  і пере­міщень пристрій із субмікрометровими  та нанометр­ровими топологічними розмірами. Це дало можливість реалізувати як дискретний прилад, так і елемент зінтегрованих наноелектромеханічних сис­тем зі структурою  кремній-на-ізоляторі, який забез­печує контроль переміщення з точністю до 200 нм.

Мікротвердість поверхневих шарів гартованого склах

The value of microhardness of the surface layers of 6 mm float glass, tempered by contact and by air method by etching in a mixture of fluoride and sulfuric acids, is researched. It was established that the microhardness value depends on the method of tempering and thickness of the etched layer. The optimal parameters of the microhardness measure of 6 mm float glass are selected and thickness of the etched layer which causes the relaxation of residual tensions is indicated.