РОЗРОБЛЕННЯ БАЗОВИХ МОДЕЛЕЙ ЄМНІСНИХ АКСЕЛЕРОМЕТРІВ МОВОЮ VHDL-AMS ДЛЯ СХЕМОТЕХНІЧНОГО РІВНЯ АВТОМАТИЗОВАНОГО ПРОЕКТУВАННЯ
Розроблено базові моделі ємнісних МЕМС акселерометрів з використанням мови VHDL-AMS для схемотехнічного рівня автоматизованого проектування. Базові моделі розроблені для двох базових типів ємнісних акселерометрів: пластинчастої та гребінчастої інтегральних конструкцій. Розроблені моделі дають змогу визначати параметри вихідної напруги електричних ємнісних акселерометрів залежно від вхідних механічних та конструктивних параметрів та можуть бути використані для автоматизованого проектування МЕМС на схемотехнічному рівні.