1. SCSIT
  2. All Volumes and Issues
  3. Volume 751, 2013
  4. VHDL-AMS модель електротеплового мікроактюатора для функціонально-логічного рівня автоматизованого проектування

VHDL-AMS модель електротеплового мікроактюатора для функціонально-логічного рівня автоматизованого проектування

SCSIT.
2013;
Volume 751
: pp. 236 - 244
Authors: 

А. Головатий*, М. Лобур

*Тернопільський національний технічний університет ім. І. Пулюя, кафедра програмної інженерії;
Національний університет «Львівська політехніка», кафедра систем автоматизованого проектування

Розроблено VHDL-AMS модель електротеплового мікроактюатора для автоматизо- ваного проектування засобами hAMSter, що дає змогу моделювати залежність деформації (згину) плечей мікроактюатора від їх довжини і прикладеної напруги до анкерів, струму від прикладеної напруги і довжини плеча мікроактюатора, розподіл температури вздовж його плечей, енергоспоживання мікроактюатора від прикладеної напруги, а також проводити аналіз поведінки цього пристрою на функціонально-логічному рівні проектування.

VHDL-AMS model of electro-thermal microactuator for computer-aided design is created using hAMSter. The created model allows to simulate the dependence of the bending of hot (thin) and cold (wide) arms on their lengths and the applied voltage between the anchors of the microactuator, dependence of the current on the applied voltage and the arm length of the microactuator, temperature distribution along the arms, dependence of the power consumption on the applied voltage, and also to perform the behavioral analysis of this device at the functional-logic design level.

MEMS
electro-thermal microactuator
Joule-Lenz’s law
VHDL-AMS model
computer-aided design
  1. Dong Yan. Mechanical Design and Modeling of MEMS Thermal Actuators for RF Applications / Dong Yan // Thesis.– University of Waterloo, Ontario, 2002 – pp. 93.
  2. Shannon Zelinski. Design of Vertical-Lateral Thermal Actuators for MEMS / Shannon Zelinski. // Department of Electrical Engineering and Computer Sciences. – University of California, Berkeley, 2001 – pp. 4.
  3. Amarendra Atre. Design of a Micromachined Electro-Thermal Beam Flexure Polysilicon Actuator / Amarendra Atre // NSTI-Nanotech – 2005 – pp.
  4. Ang Beng Seng. Design and Analysis of Thermal Microactuator / Ang Beng Seng // European Journal of Scientific Research – 2009 – p. 281-292.
  5. Pavel V. VHDL-AMS based modeling and simulation of mixed-technology Microsystems / Pavel V. Nikitin, C.-J. Richard Shi // Tutorial – 2005 – p.261
  6. Qing Ji. First Order Modeling of Thermal Actuators in SUGAR / Qing Ji, Karen L. Scott // University of California – 2005 – p. 4
  7. Krassimir Hristov Denishev. Thermal Microactuator / Krassimir Hristov Denishev, Eleonora Zhivkova Krumova // ELECTRONICS’2005 – 2005 – pp. 6.
  8. Michael S. Final Report: Compliant Thermo-Mechanical MEMS Actuators LDRD #52553 / Michael S. Baker, Richard A. Plass, Thomas J. Headley, Jeremy A. Walvaren // Sandia National Laboratories –2004.
  9. hAMSter Software for VHDL-AMS Simulations, http://www.theoinf.tu-ilmenau.de/~twangl/VHDL- AMS_online_en/Home.html.
  10. Peter J. Ashenden EDA CONSULTANT, ASHENDEN DESIGNS PTY. LTD., «VHDL Tutorial», Elsevier Science 2004 – pp. 84.
  11. Standard VHDL Analog and Mixed-Signal Extensions - Packages for Multiple Energy Domain Support – 2003 – pp. 21.
  12. VHDL 1076.1: Analog Extensions to VHDL, Ernst Christen, Analogy Inc. – April 1997 – pp. 9.