MEMS

RESEARCH OF VIBRATION OSCILLATIONS OF MEMS RESONATORS DURING THEIR OPERATION

 A mathematical model has been developed to study the amplitude-frequency characteristics of the resonator beam. Nonlinear mechanics methods were used in the modeling process. The model takes into account the influence of changes in the elastic properties of the beam material on its oscillation amplitude and frequency. To analyze the internal processes in the material, Voigt's and Bolotin's laws were applied.

IMPROVING THE NAVIGATION SYSTEM OF UNDERGROUND PIPE DEFECT DETECTION DEVICE

This article addresses the issue of noise and drift in microelectromechanical gyroscopes and their impact on measurement accuracy in engineering applications. The use of a complementary filter is proposed to combine information from the accelerometer and gyroscope to reduce inaccuracies. Research shows that the accelerometer has better result repeatability, which is important for obtaining stable measurements. At the same time, the gyroscope may be more effective in measuring translational movements.

VHDL-AMS модель електротеплового мікроактюатора для функціонально-логічного рівня автоматизованого проектування

Розроблено VHDL-AMS модель електротеплового мікроактюатора для автоматизо- ваного проектування засобами hAMSter, що дає змогу моделювати залежність деформації (згину) плечей мікроактюатора від їх довжини і прикладеної напруги до анкерів, струму від прикладеної напруги і довжини плеча мікроактюатора, розподіл температури вздовж його плечей, енергоспоживання мікроактюатора від прикладеної напруги, а також проводити аналіз поведінки цього пристрою на функціонально-логічному рівні проектування.

Розроблення методу визначення діапазону значень величини вимірюваного електричного опору

Розроблено метод визначення діапазону значень величини вимірюваного електричного опору, алгоритм і модель функціонування на основі кольорових мереж Петрі, та схемну модель підсистеми визначення діапазону значень величини вимірюваного електричного опору, які виступають ефективним інструментом під час розв’язання задачі вимірювання малих величин електричного опору в МЕМС.

Розроблення схемної моделі системи вимірювання та аналізу теплового портрету інтегральних пристроїв

Запропоновано структуру, алгоритм та модель функціонування системи вимірю- вання та аналізу теплового портрету інтегральних пристроїв.

This paper is devoted to general structure, algorithm and functioning model of developed system for measurement and analysis of thermal portrait of integrated devices.

Розроблення архітектури системи синтезу мікроелектромеханічних систем

Стаття присвячена розробленню архітектури системи, що доє змогу розробнику автоматизувати процес структурного синтезу МЕМС, використовуючи ситуативно базовану аргументацію.

This article is devoted to system architecture development, which solves MEMS structural synthesis tasks using case-based reasoning.

Методи і засоби проектування мікропотокових МЕМС типу LAB-ЧІП

In the article a hydrodynamic flow model for microfluidic MEMS is presented. Methods and tools for design automation of microfluidic flows were applied. The possibilities of modern CAX tools for the simulation and optimization of fluid flow in microchannels were analyzed.

Розроблення чотирирівневої моделі онтології автоматизації синтезу МЕМС

In the paper the four-layer ontology model for automated design of microelectromechanical systems is proposed and the peculiarities of every level are described.

Parallelization computations during simulation of mechanical components of mems-based diakoptical approach

The article reviews the main factors that determines the relevance of the development of special resolution of mechanical systems equations. We propose to use the diacoptical approach to design mechanical components of MEMS.