The process of creation of elements of microelectronics on the base of process of ion – plasma spraying process needs continuous control of lining temperature. In the article the use is offered for this thermometer of radiation. The features of measuring of temperature of lining of radiation thermometer are considered in the process of spraying process.
1. Минайчев В.Е. Нанесение пленок в вакууме. – М.: Высш. шк., 1989. – 110 с.
2. Гоц Н. Моделювання похибок вимірювання температури методами двоканальної термометрії випромінення // Вісник Нац. ун-ту «Львівська політехніка», «Комп’ютерні науки та інформаційні технології». – Львів, 2011. – № 694. – С. 205–211.
3. Гордов А.Н. Основы пирометрии. – М.: Металлургия, 1971. – 446 с.
4. Брянский Л.Н., Дойников А.С. Краткий справочник метролога. – М. : Изд-во стандартов, 1991. – С. 79.
5. Госсорг Ж. Инфракрасная термография. Основы, техника, применение: пер. с фр. – М.: Мир, 1988. – 399 с.
6. Ранцевич В.Б. Пирометрия при посторонних источниках излучения. – Минск: Наука и техника, 1988. – 152 с.
7. Свет Д.Я. Оптические методы измерения истинных температур. – М: Наука, 1982. – 296 с.
8. Гоц Н., Пянтковски Т. Дослідження впливу приймача випромінення на точність вимірювання температури за випроміненням багатоспектральними методами // Вісник Нац. ун-ту «Львівська політехніка», «Комп’ютерні науки та інформаційні технології». – Львів, 2010. – № 686. – С.290–296.