Використання пакетів схемотехнічного проектування для побудови моделей механічних компонентів

Розроблено метод синтезу моделей гетерогенних інтегральних елементів МЕМС для схемотехнічного рівня та наведено результати побудови схемних рішень.

The method of synthesis of models of heterogeneous integrated MEMS’s elements is — process developed for a schematic and technical level is developed and results of construction of schematic solutions are resulted.