white light interferometry

Стан та перспективи розвитку комп’ютеризованих систем контролю топології поверхні

У статті описано комп’ютеризовану систему контролю топології об’єкту на базі інтерферометра білого світла. Подано основні теоретичні відомості оптичної інтерферометрії та наведено математичну модель інтерферограми. Проведено огляд та порівняльний аналіз методів реконструкції топології поверхні із інтерферограми білого світла, визначено їх основні переваги та недоліки, а також сформульовано завдання щодо розвитку комп’ютеризованих систем.

Method of surface reconstruction from white light interferogram based on hilbert transrorm

In this paper theoretical fundamentals of white light interferometry and mathematical model of interferogramm were analyzed. The method of topography reconstruction from phase of white-light interferogramm based on amplitude demodulation using Hilbert transform was developed. The verification of introduced algorithm on tilted and sphere surface is presented and the main sources of reconstruction errors were analyzed.