Аналітичний огляд методів та засобів вимірювання температури об’єктів малих розмірів

2017;
: pp. 25-33
1
Національний університет “Львівська політехніка”
2
Державне підприємство “Науково-дослідний інститут метрології вимірювальних і управляючих систем”

Проаналізовано основні переваги та недоліки контактних та безконтактних методів і засобів вимірювання температури та можливість їх застосування для вимірювання температури мікро- та нанооб’єктів. Враховуючи результати виконаного аналізу, переваги та недоліки розглянутих методів, для вимірювання температури об’єктів малих розмірів оптимальним є застосування методу комбінаційного розсіювання світла. Показано доцільність використання методу за зсувом частоти комбінаційного розсіювання світла для побудови засобу вимірювання температури нанооб’єктів, що забезпечує зменшення часу вимірювання та методичної похибки.

1. Луцик Я.Т., Гук О.П., Лах О.І., Стадник Б.І. Вимірювання температури: теорія та практика. Бескид Біт, Львів, 2006.

2. Lo H. W., Compaan A. // Phys. Rev. Lett. 1980. V. 44, № 24. P. 1604.

3. Лах В.І., Гук О.П., Лах О.І., Гаєвська О.Є. Засоби контактної термометрії. Порядок вибору та встановлення / ГР 3-021-2003. - К.: Вид-во Держспоживстандарту, 2004 – 21 с.

4. Compaan A., Lee M. C, Lo H. W. et al. // J. Appl. Phys. 1983. V. 54, № 10. P. 5950.

5. Schuster G., Hechtfischer В., Fellmuth В. // Rep. Prog. Phys. 1994. V. 57. P. 187.

6. Dai S., Young J.P., Begun СМ., Mamantov G. // Appl. Spectrosc. 1992. V. 46, № 2. P. 375.

7. LaPlant F., Laurence C, Ben-Amotz D. // Appl. Spectrosc. 1996. V. 50, № 8. P. 1034.

8. Cui J.B., Amtmann K., Ristein J., Ley L. // J. Appl. Phys. 1998. V. 83, № 12. P. 7929.

9. Zou J., Wang S., Yang Z. // Int. J. Infrared and Millimeter Waves. 2000. V. 21, № 5. P. 793.

10. Peacock N. J., Robinson D. С, Forrest M. J. et al. // Nature. 1969. V. 224, № 5218. P. 488.

11. Alexander Dmitriyev. «Laser pyrometry offers practical temperature measurement». Heat treating progress, 2005

12. Childs P.R.N., Greenwood J.R., Long С. А. // Rev. Sci. Instrum. 2000. V. 71, № 8. P. 2959.

13. Peter J. Hesketh. «Bio Nano Fluidic MEMS». Springer Science & Business Media, NY, 2007

14. Jellison С E., Jr., Lowdnes D. Н., Wood R. F. // Phys. Rev. B. 1983. V. 28, № 6. P. 3272.

15. Kip B.J., Meier R.J. // Appl. Spectr. 1990. V. 44, № 4. P. 707.

16. Коливна спектроскопія / [Електронний ресурс]. Режим доступу: http://chem.lnu.edu.ua/kah/Patsay/fmd/lecture-5.pdf

17. Wang Xinwei. Experimental Micro Nanoscale Thermal Transport. // John Wiley & Song, Canada, 2012

18. L. Michalski. Temperature Measurement. Second edition. // John Wiley & Song, Canada, 2012

19. Boyraz, Özdal; Jalali, Bahram. Demonstration of a silicon Raman laser // Optics Express (2004), 5269–5273 р.

20. B. Stadnyk. Metrological Array of Cyber-Physical Systems. Part 8. Elaboration of Raman Method / B. Stadnyk, S. Yatsyshyn, O. Seheda, Yu. Kryvenchuk // Sensors & Transducers, Vol. 189, Issue 6, June 2015, pp. 116-120.

21. Кривенчук Ю. Метод комбінаційного розсіювання світла у термометрії поверхні мікрооб’єктів / Сегеда О., Яцишин С., Кривенчук Ю. // Вимірювальна техніка та метрологія. – 2012. – № 73. – С. 28-31.

22. Луцик Я.Т. Енциклопедія термометрії/ Луцик Я.Т., Буняк Л.К., Рудавський Ю.К., Стадник Б.І. – Львів 2003. – 280-285 с.

23. S. Yatsyshyn. Handbook of Thermometry and Nanothermometry/ S. Yatsyshyn, B. Stadnyk, Ya. Lutsyk, L. Byniak – IFSA 2015.