АНАЛІТИЧНІ СПІВВІДНОШЕННЯ ДЛЯ РОЗРАХУНКУ СТРУМУ РОЗРЯДУ АРГ У ПАРАХ МЕТАЛІВ ЗА ФІЗИЧНИХ УМОВ ТЕХНОЛОГІЧНОГО ПРОЦЕСУ ЕЛЕКТРОННО-ПРОМЕНЕВОГО ОСАДЖЕННЯ КЕРАМІЧНИХ ПОКРИТТІВ

1
National Technical University of Ukraine “Igor Sikorsky Kyiv Polytechnic Institute”
2
National Technical University of Ukraine “Igor Sikorsky Kyiv Polytechnic Institute”
3
National Technical University of Ukraine “Igor Sikorsky Kyiv Polytechnic Institute”
4
National Technical University of Ukraine “Igor Sikorsky Kyiv Polytechnic Institute”
5
National Technical University of Ukraine “Igor Sikorsky Kyiv Polytechnic Institute”

Cтаття присвячена проблемі розрахунку величини струму не самостійого дугового розряду, який запалюється та підтримується в парах металу та активних газах для забезпечення хімічної реакції між ним у технологічному процесі напарювання тонких покриттів. Отримані співвідношення в основному базуються на рівнянні Пуассона для визначення розподілу електричного поля, рівнянні Менделєєва – Клапейрона для визначення концентрації іонів у насичених парах металів, а також на рівнянні неперервності струму в газовому розряді. Сформована система рівнянь розподілу електричного потенціалу та розрядного струму в просторових координатах перетворюється на кубічне рівняння, яке розв’язано аналітично. Наведено та проаналізовано отримані результати моделювання.