На основі розроблених скінченно-елементних моделей пружних елементів сенсора ємнісного типу досліджено їх напружено-деформований стан та функціональні можли- вості таких електромеханічних перетворювачів. Одержано аналітичні залежності для визначення максимальних напружень і переміщень від робочих тисків, геометричних розмірів та фізичних властивостей пружних елементів сенсорів ємнісного типу.
1. Hirata M., Suwazono S. and Tanigawa H. Sensors and Actuators. 13, 63 (1988). 2. Smith M.S., Bowman L. and Meindl J.D. Analysis, design, and performance of micropower circuits for a capacitive Lviv Polytechnic National University Institutional Repository http://ena.lp.edu.ua 98 pressure sensor IC // IEEE J. Solid-State Circuits. – Dec. 1986. – Vol. SC-21. – Р. 1045–1056. 3. Зен- кевич О. Метод конечных элементов в технике. – М.: Мир, 1975. – 541 с. 4. Rusinski E. Metoda elementow skonczonych. System Cosmos. – M. – Warszawa: WKL, 1994. – 392 s. 5. Algor: Mechanical event simulation tutorial. Algor.inc, Pittsburgh, 2000.