Давачі фізичних величин з розширеними функціональними можливостями на основі ниткоподібних мікрокристалів кремнію
Розглянуто конструктивно-технологічні особливості створення чутливого елемента давача фізичних величин з розширеними функціональними можливостямина основі ниткоподібних кристалів кремнію p-типу провідності з домішкою бору вирощених механізмом пара-рідина-кристал. Проведено дослідження впливу питомого опору НК Si на температурну залежність вихідного сигналу.