Чутливий елемент акселерометра на основі наноструктур кремнію
У роботі розглянуто чутливий елемент акселерометра, виконаний з використанням суміщеної тех.нології створення структур кремній-на-ізоляторі та ниткоподібних нанокристалів кремнію. На його основі розроблено малоінерційний, швидкодіючий, високочутливий до прискорення і переміщень пристрій із субмікрометровими та нанометрровими топологічними розмірами.