Мікроелектромеханічні системи (МЕМС)

Описано загальний процес і паралельну модель реалізації синтезу мікроелектро- механічних систем, що ґрунтуються на розробленому генетичному алгоритмі. Оскільки завдання синтезу у сфері комплексних мікросистем є дуже складним у своїй структурі і затратним у часі, актуальність питань виконання і швидкості, щоб згенерувати новітню систему і її структурні компоненти, є все ще невирішеною сьогодні. Розроблена модель сприяє і прискорює синтез нових і унікальних мікроелектромеханічних структур системи.

Розроблено VHDL-AMS модель мікроакселерометра з сигма-дельта контролем для системи автоматизованого проектування. Створена модель зробила можливим моделювання динамічних характеристик інтегрованого ємнісного мікроекселерометра, обробку сигналу і оцифровування, моделювання контролю force feedback, застосовуючи сигма-дельта методику на прикладну силу прискорення, а також для проведення аналізу приладу на рівні поведінки системи автоматизованого проектування.

Розроблено імітаційну модель механічної компоненти повністю диференційного ємнісного МЕМС акселерометра в середовищі MATLAB/Simulink. Модель дає змогу моделювати переміщення робочої маси, зміну ємностей вимірювальних конденсаторів чутливого елемента, чутливість мікродавача від прикладеного прискорення, а також проводити часовий аналіз інтегрального пристрою на системному рівні проектування.