мікроелектромеханічні системи (MEMS)

Development of macro-parametric method for integration of heterogeneous CAD systems and structure of integrated computer-aided design subsystem for MEMS motion sensors

Запропоновано макропараметричний метод інтеграції гетерогенних САПР для давачів руху мікроелектромеханічних систем. На основі макропараметричного методу розроблено структуру підсистеми інтегрованого проектування для давачів руху мікроелектромеханічних систем.