растрова електронна мікроскія (РЕМ)

Деякі питання РЕМ-фотограмметрії наведеного струму

Розглянуто питання обробки фотограмметрі стерео образів SEM, взятих в режимі індукованого струму. Проведено експериментальні дослідження, які підтвердили можливість надійного вивчення дефектів, розподілених в приповерхневому шарі досліджуваних матеріалів.