електрохімічне травлення

Модифікація поверхні арсеніду галію електрохімічними методами в різних композиціях електролітів

Представлено дослідження модифікації поверхні n-GaAs методом електрохімічного травлення в різних композиціях електролітів. Досліджено можливість формування різних типів мікроморфології на ідентичних зразках GaAs, зокрема формування кристалографічних, дефектно-дислокаційних та ізотопних інтерфейсів.