МАТЕМАТИЧНІ МОДЕЛІ КЕРУЮЧИХ ПРИСТРОЇВ МЕМС
В даній статті розглянуто МЕМС актюатори різних типів (електростатичні, магнітні, п’єзоелектричні, термоактюатори). Розглянуто особливості їх конструкцій. Проаналізовано способи побудови математичних моделей цих актюаторів та можливості їх застосування при проектуванні складних технічних систем із застосуванням таких актюаторів. Наведено приклад розрахунку характеристики індуктивності наносоленоїда, який є складовою частиною електромагнітного актюатора.