МЕМС – мікроелектромеханічні системи

Applying COMSOL Multiphysics for research and development of capacitive pressure sensor

Спроектовано та досліджено моделі давача тиску ємнісного типу в середовищі Comsol. Застосовано алгоритм побудови моделі за допомогою пакета Comsol.