Наведено мікроелектромеханічні пристрої для радіочастотних систем (RF МЕМS). Описано використання МЕМS резонаторів. Наведені висновки та рекомендації.
1. Kun Wang, Clark T.-C.Nguyen. High-order medium frequency micromechanical electronics filters // IEEE J. of Microelectromechanical Systems. – Dec. 1998. – Vol. 8, № 4. – Р. 534–557. 2. Lin L., Howe R.T., Pisano A.P. Micromechanical filters for signal processing // IEEE J. of Microelectromechanical Systems. – Sept. 1998. – Vol. 7, № 3. – Р. 286–294. 3. http://www.mems.ru 4. Lobur M., Napieralski A., Sviridova T. Application of CFDRC software for modeling of chosen microstructures // Modern problems of radio engineering, telecommunications and computer science: Proceeding of the International Conference TCSET’2002. – Lviv, 2002. – Р. 172–175. 5. Fedder G.K. Structured Design Methods for MEMS: Essential Tools for RApid MEMS Development // NSF sponsored workshop on Structured Design Methods for MEMS. – 12–15 November 1995.