Деякі питання РЕМ-фотограмметрії наведеного струму

1
Волинський державний університет імені Лесі Українки
2
Луцький Національний Технічний Університет

Розглянуто питання обробки фотограмметрі стерео образів SEM, взятих в режимі індукованого струму. Проведено експериментальні дослідження, які підтвердили можливість надійного вивчення дефектів, розподілених в приповерхневому шарі досліджуваних матеріалів.

 

  1. Лукьянов А.Е., Мильников Г.В., Аль Шаер В. ЕВІС-контраст изображения объемных дефектов в полупроводниках / /Изв. АН, сер. физич., 1993. – Т.57. – №8. – С.20–24.
  2. Donolato C. // Optik, 1978. – V.52. – №1. – P.19–22.
  3. Дицман С.А., Дубова О.Л. Формирование стереоизображения в РЭМ при использовании сигнала наведенного тока // Изв. АН, сер. физич., 1993. – Т.51. – №3. – С.497–499.
  4. Корн Г., Корн Т. Справочник по математике. – М.: Наука, 1970. – С.692.
  5. Мельник В.М., Волошин В.У. До теорії РЕМ-фотограмметрії // Вісник геодезії та картографії, 2006. – №5. – С.24–29.
  6. Мамичев Т.В. Стереотелевизионные устройства отображения информации. – М.: Радио и связь, 1983.