МЕМС

Розроблено VHDL-AMS модель електротеплового мікроактюатора для автоматизо- ваного проектування засобами hAMSter, що дає змогу моделювати залежність деформації (згину) плечей мікроактюатора від їх довжини і прикладеної напруги до анкерів, струму від прикладеної напруги і довжини плеча мікроактюатора, розподіл температури вздовж його плечей, енергоспоживання мікроактюатора від прикладеної напруги, а також проводити аналіз поведінки цього пристрою на функціонально-логічному рівні проектування.

Розроблено метод визначення діапазону значень величини вимірюваного електричного опору, алгоритм і модель функціонування на основі кольорових мереж Петрі, та схемну модель підсистеми визначення діапазону значень величини вимірюваного електричного опору, які виступають ефективним інструментом під час розв’язання задачі вимірювання малих величин електричного опору в МЕМС.

Запропоновано структуру, алгоритм та модель функціонування системи вимірю- вання та аналізу теплового портрету інтегральних пристроїв.

This paper is devoted to general structure, algorithm and functioning model of developed system for measurement and analysis of thermal portrait of integrated devices.

Стаття присвячена розробленню архітектури системи, що доє змогу розробнику автоматизувати процес структурного синтезу МЕМС, використовуючи ситуативно базовану аргументацію.

This article is devoted to system architecture development, which solves MEMS structural synthesis tasks using case-based reasoning.

Запропонована модель динаміки потоку для рідинних МЕМС. Розглянуто методи і засоби автоматизованого проектування рідинних мікропотоків. Проаналізовано можливості САПР для моделювання та оптимізації потоку рідини в мікроканалах.

Досліджено вплив конструктивних особливостей анкерів на вихідні параметри ємнісних конструкцій інтегральних акселерометрів.

Запропоновано 4-рівневу модель побудови онтологій для автоматизованого проектування мікроелектромеханічних систем та описано особливості кожного рівня.

Стаття присвячена постановці задачі вибору CАx систем для оптимального проектування безпілотних літальних апаратів. Розглянуто задачі кожного етапу проектування БЛА та визначено засоби, які дають змогу забезпечити оптимальне проектування, враховуючи емпіричний досвід.

Розглянуті основні фактори, які визначають актуальність розроблення спеціаль- ного розв’язання рівнянь, які описують механічні системи. Ми пропонуємо викорис- товувати діаскопічний підхід до проектування механічних компонентів МЕМС.

The article presents an example of the usage of golden section search to select the comb length of MEMS el electro-actuator to get the desired displacement at a given voltage heating. The proposed solutions are implemented as software code in the ANSYS system.