програма «Dimicros»

Дослідження точності визначення дійсних величин збільшення (масштабу) цифрових РЕМ-зображень, отриманих на РЕМ JCM-5000 (neoscope) фірми JEOL

За допомогою вимірювань цифрових РЕМ-зображень спеціального тест-об'єкта з дозволом r = 1425 лін / мм, отриманих на РЕМ JCM-5000 (NeoScope), визначено їх справжні збільшення (масштаб) уздовж осей x і y РЕМ-знімків в діапазоні збільшень РЕМ від 1000х до 40000х (крат). Встановлено, що масштабні спотворення цифрових РЕМ-зображень, отриманих на цьому типі РЕМ, не перевищують ± 1% незалежно від величини збільшення і осей знімка.