Дослідження точності визначення дійсних величин збільшення (масштабу) цифрових РЕМ-зображень, отриманих на РЕМ JCM-5000 (neoscope) фірми JEOL

О. М. Іванчук

За допомогою вимірювань цифрових РЕМ-зображень спеціального тест-об'єкта з дозволом r = 1425 лін / мм, отриманих на РЕМ JCM-5000 (NeoScope), визначено їх справжні збільшення (масштаб) уздовж осей x і y РЕМ-знімків в діапазоні збільшень РЕМ від 1000х до 40000х (крат). Встановлено, що масштабні спотворення цифрових РЕМ-зображень, отриманих на цьому типі РЕМ, не перевищують ± 1% незалежно від величини збільшення і осей знімка.

растровий електронний мікроскоп (РЕМ)

цифрові РЕМ-зображення

тест-об’єкт

програма «Dimicros»

1.   Boyde A., Ross H.F. Photogrammetry and Scanning electron microscopy // Photogrammetric Record.-1975.-Vol.8.-№46.-P.408-457.
2.   Burkhardt R. Untersuchungen zur kalibrirung eines Elektronen mikroskopes // Mitt. geod. Inst. Techn. Univ. Graz.-1980.-№35.
3.   Ghosh S. K. Photogrammetric calibration of a scanning electron microscope // Photogrammetria.-1975.-V.31.-№31.-P.91-114.
4.   Ghosh S. K., Nagaraja H. Scanning Electron Micrography and Phtogrammetry // Photogrammetric Engineering and Remote Sensing.- 1976.-Vol.42.-№5.-P.649-657.
5.   Howell P. A practical method for the correction of distortions in SEM photogrammetry // Proc. Of the Annual Scanning Electron Microscope Symposium. Chicago, Illinois.-1975.-P.199-206.
6.   Іванчук О., Хрупін І. Структура та функції програмного комплексу «Dimicros» для опрацювання РЕМ-зображень на цифровій фотограмметричній станції // Сучасні досягнення геодезичної науки та виробництва.- Львів, 2008. Вип. I(23).-С.193-197.
7.   Костышин М.Т., Мустафин К.С. Квантовая электроника.-1982.-Вып.23.-С.29-33.
8.   Калантаров Е.И., Сагындыкова М.Ж. Фотограмметрическая калибровка электронных микроскопов // Изв. вузов. Геодезия и аэрофотосъемка.-1983.-№4.-С.76-80.
9.   Мельник В.Н., Соколов В.Н., Иванчук О.М., Тумская О.В., Шебатинов М.П. Калибровка геометрических искажений РЭМ-снимков // Рук. деп. в ВИНИТИ.-1984.-№528.-С.18.
10.   Мельник В.М. Растрово-електронна стереомікрофракторафія. Монографія / Мельник В.М., Шостак А.В. - Луцьк: «Вежа», 2009. - 469 с.
11.   Финковский В.Я., Мельник В.Н., Иванчук О.М. К теории фотограмметрической обработки РЭМ-снимков // Геодезия и картография.-1984.-№2.-С.29-33.
12.   Шостак А.В. Методи і моделі мікрофотограмметрії у прикладних наукових дослідженнях: Автореф. дис. на здоб. наук. ст. докт. техн. наук.-Київ, 2012.-28 с.