ДОСЛІДЖЕННЯ ВІБРАЦІЙНИХ КОЛИВАНЬ MEMS-РЕЗОНАТОРІВ ПРИ ЇХ ЕКСПЛУАТАЦІЇ
Побудовано математичну модель дослідження амплітудо-частотних характеристик балки резонатора. Для побудови використано методи нелінійної механіки. В отриманій математичній моделі враховано вплив зміни пружних характеристик матеріалу балки резонатора на її амплітуду та частоту коливань. Для визначення внутрішніх процесів, що відбуваються в матеріалі балки використано закони Фойгта та Болотіна.