атомно-силова мікроскопія

Research of volt-ampere characteristics of the wire Pierce electron gun under electron-beam microprocessing of dielectrics

The article considers the basic energy characteristics of a wire Pierce electron-beam gun, which used for microprocessing of dielectric materials in vacuo. The aim of the work is to determine the optimal regimes of electron-beam microprocessing of dielectric materials by studying the volt-ampere characteristics of the wire Pierce electron-beam gun.

Перспективи використання методу атомно-силової мікроскопії для дослідження стану та фізико- механічних характеристик поверхонь виробів прецизійного машинобудування

У статті доведена доцільність використання методу атомно-силової мікроскопії при дослідженні стану та характеристик поверхонь виробів прецизійного машинобудування. Розглянуто основні напрямки досліджень топограми та фізико- механічних характеристик поверхонь виробів прецизійного машинобудування та встановлені обмеження і недоліки у використанні методу атомно-силової мікроскопії при дослідженні окремих властивостей поверхонь виробів.