У статті доведена доцільність використання методу атомно-силової мікроскопії при дослідженні стану та характеристик поверхонь виробів прецизійного машинобудування. Розглянуто основні напрямки досліджень топограми та фізико- механічних характеристик поверхонь виробів прецизійного машинобудування та встановлені обмеження і недоліки у використанні методу атомно-силової мікроскопії при дослідженні окремих властивостей поверхонь виробів.
1. Суслов А.А. Сканирующая зондовая микроскопия / А.А.Суслов, С.А.Чижик // Материалы, технологии, инструменты, 1997, № 3. — С. 78. 2. Чижик С.А. Глаза и руки нанотехнологий / С.А.Чижик, А.П.Свириденок, А.А.Суслов // Наука и инновации. — 2009. — № 3. — С. 53-55. 3. Методи та засоби мікроскопії [Текст]: моногр. / В.С.Антонюк, Г.С.Тимчик, Ю.Ю.Бондаренко та ін. — К.: НТУУ «КПІ», 2013. — 336 с. 4. Формирование упорядоченных наноструктур на поверхностях кремниевых зондов для атомно-силовой микроскопии комбинированным термовакуумным методом / С.А.Шелестовская, М.А.Бондаренко, А.В.Котляр [и др.] // Материалы докладов IX Международной конференции «Методологические аспекты сканирующей зондовой микроскопии», 12-15 октября 2010 г., Минск: Институт тепло- и массообмена им.А.В.Лыкова НАН Беларуси, 2010. — С.162-168.