Запропоновано структуру для реалізації системи для обчислення параметрів мікроелектромеханічних систем із використанням хмарних технологій. Розглянуто переваги даної системи над існуючими зразками.
1. Годовицын И. В., Сайкин Д. А., Федоров Р. А., Амеличев В. В. Расчет и моделирование ос- новных параметров дифференциального емкостного МЭМС-акселерометра // Сб. науч. тр. IV Всероссийской научно-технической конференции “Проблемы разработки перспективных микро– и наноэлектронных систем – 2010. 2. Mossaddequr Rahman, Sazzadur Chowdhury “A Highly Accurate Method to Calculate Capacitance of MEMS Sensors with Circular Membranes” Electro/Information Technology, 2009. eit '09. IEEE International Conference. – P. 178–181. 3. Tkachenko S., Kulpa R., Havryshko V. Training programs for calculating the parameters of MEMS using cloud computing / CADMD’2014, October 10–11, 2014, Lviv, UKRAINE. – P. 143–145.