В статті представлені результати багатьох досліджень величин і характеру геометричного спотворення РЕМ-зображень, отриманих на РЕМ “Hitachi” S-800 при зміні параметрів РЕМ-зйомки: збільшений (масштаб) від 500х до 50000х, кут нахилу гоніометричного столика от 0° до 10° і зміни його встановлення вздовж осі Z від Z=14.0mm до Z= 16.0 мм з інтервалом 0.5 мм. встановлено, що краї РЕМ-знимка можуть досягати 1.5-2.0 мм, а в його центральній частині в радіусі 10 мм порівняно незначні - 0.1-0.2 мм. Спотворення носять систематичний характер (приблизно 90% її складової), вони симетричні відносно осіей знимків і залишаються практично незмінними при значних вимірюваннях параметрів РЕМ-знимків, що дозволяє їх легко апроксимувати поліномом загального виду 3-ого ступеня.
1. Іванчук О.М. Методи оперативного фотограмметричного опрацювання знімків, отриманих на растрових електронних мікроскопах: Автореф. дис...канд. техн. наук.-Львів.-2000.- 18 с.
2. Мельник В.Н., Любимов И.Н. Метрические свойства растровых электронномикроскопических снимков // Заводская лаборатория.-1977.-№3.-С.288-291.
3. Мельник В.Н., Соколов В.Н., Иванчук О.М., Тумская О.В., Шебатинов М.П. Калибровка геометрических искажений РЭМ-снимков // Рук. деп. в ВИНИТИ.-1984.-№528.-С.18.
4. Мельник В.И., Соколов В.Н., Шебатинов М.П., Иванчук О.М. Анализ погрешностей стереоизмерении в растровой электронной микроскопии // Изв. АН СССР. Сер. физическая.-1987.-№3.-С.468-474.
5. Мельник В.Н., Иванчук О.М., Максимюк Ю.Й. Калибровка геометрических искажений РЭМ-снимков // Геодезия и фотограмметрия.-Ростов н/Д : Рост.инж.-строит.ин-т.-1990.-С.37-44. ^
6. Мельник В.Н., Соколов В.Н. Фрактальная и стереометрическая оценки РЭМ-изображений // Изв. РАН.Сер. физическая. - 1993.-№8. - С.99 - 105. _
7. Мельник В.М. Теорія і практика фотограмметричних методів в електронно-мікроскопічних дослідженнях: Автореф. дис.-.докт, техн. наук.-Львів.-1995.- 51 с.
8. Finkovski V.J., Melnik V.N. Investigation of the raster electronic microstereophotogrammetric survey accuracy // Proc. Xlll the Congres of the Internat. Soc. Photogrammetry. Helsinki.-1976.-P.l-10.
9. Ghosh S. K., Nagaraja H. Scanning Electron Micrography and Programmetry // Photogrammetric Engineering and Remote Sensing.- l976.-Vol.42.-№5.-P.649-657.