Проаналізовано джерела спотворень інтерферограми білого світла. Обґрунтовано методику та досліджено ефективність знешумлення синтезованого сигналу інтерферограми з використанням цифрових фільтрів та вейвлет-перетворення. Результати апробовано на реальній інтерферометричній картині.
1. Kitagawa K. 3D Profiling of a Transparent Film using White-Light Interferometry // In SICE Annual Conference. – Japan, Sapporo, 4–6 August 2004. – Р. 585–590.
2. Heikkinen V., Kurppa R. et al., Quality control of ultrasonic bonding tools using a scanning white light interferometer // in IEEE International Ultrasonics Symposium, 2010. – Р. 1428–1430.
3. Apostol D., Damian V., Logofatu P. C. Nanometrology of Microsystems: Interferometry/ Romanian Reports in Physics, Vol. 60, No. 3, 2008. – Р. 815–828.
4. Hariharan P. Basics of Interferometry. – 2nd ed, Elsevier Inc., 2007.
5. http://compulenta.computerra.ru/veshestvo/materialovedenie/10009662/.
6. Stadnyk B., Manske E., Khoma A. State and prospects of computerized systems monitoring the topology of surfaces, based on white light interferomertry // Computational Problems of Electrical Engineering, Vol. 4. – No. 1. – 2014. – Р. 75–80.
7. Сергиенко А. Б. Цифровая обработка сигналов 2-е изд. – СПб. : Питер 2006. – 751 с.
8. Гонсалес Р., Вудс Р., Эддинс С. Цифровая обработка изображений в среде MATLAB: Техносфера, 2006. – 616 с.
9. Seiffert Th. Schnelle Signal vorverarbeitung in der Weißlichtinterferometrie durch nichtlineare Signalaufnahme, in DGaO-Proceedings, 2004.
10. Steven W. Smith: Digital Signal Processing. A Practical Guide for Engineers and Scientists. Newnes, 2012. – 720 p.
11. Acharya T., Ray A.K. Image Processing: Principles and Applications John Wiley & Sons, 2005. – 452 p.