цифрові РЕМ-зображення

За допомогою вимірювань цифрових РЕМ-зображень спеціального тест-об'єкта з дозволом r = 1425 лін / мм, отриманих на РЕМ JCM-5000 (NeoScope), визначено їх справжні збільшення (масштаб) уздовж осей x і y РЕМ-знімків в діапазоні збільшень РЕМ від 1000х до 40000х (крат). Встановлено, що масштабні спотворення цифрових РЕМ-зображень, отриманих на цьому типі РЕМ, не перевищують ± 1% незалежно від величини збільшення і осей знімка.

Мета. Цифровим РЕМ-зображенням внаслідок різноманітних фізичних факторів роботи растрових електронних мікроскопів притаманні значні геометричні спотворення. Метою цього дослідження є їх встановлення та ефективне врахування для підвищення точності отримання просторових кількісних параметрів мікроповерхонь об’єктів, які досліджуються за допомогою РЕМ. Завдання це є вкрай важливим, особливо тепер, зокрема, за потреби контролю технологічних процесів виробництва на мікронному та субмікронному рівнях у машинобудуванні, мікроелектроніці та багатьох інших.

За результатами вимірювань цифрових РЕМ-зображень тест-сітки з дозволом 1425лін / мм, отриманих на цифровому РЕМ DSM-960A (Carl Zeiss, Німеччина), визначені їх масштабні і геометричні спотворення в діапазоні збільшень РЕМ від 1000х до 20000х. Встановлено, що масштабним спотворенням цифрових РЕМ-зображень, отриманих на цьому типі РЕМ, властивий систематичний характер, незалежно від величини збільшення вони складають приблизно -2% уздовж осі х знімку і -4% уздовж осі у знімку.

Мета. Відомо, що цифровим зображенням мікроповерхонь твердих тіл, отриманим на растрових електронних мікроскопах (РЕМ) різних типів, притаманні значні геометричні спотворення, які можна розділити на дві групи: лінійні (масштабні) і нелінійні (дисторсійні). Їх встановлення і врахування є вкрай важливим завданням, особливо під час створення різноманітних мікропристроїв із застосуванням сучасних нанотехнологій. Це запорука їх надійності, точності та ефективності.