Дослідження величин геометричних спотворень цифрових РЕМ-зображень, отриманих на РЕМ DSM-960A (CARL Zeiss, Німеччина) та точності їх врахування

Надіслано: Липень 15, 2013
Прийнято: Жовтень 23, 2013
Автори: 
Ivanchuk O., Barfels T., Heeg J., Heger B.

За результатами вимірювань цифрових РЕМ-зображень тест-сітки з дозволом 1425лін / мм, отриманих на цифровому РЕМ DSM-960A (Carl Zeiss, Німеччина), визначені їх масштабні і геометричні спотворення в діапазоні збільшень РЕМ від 1000х до 20000х. Встановлено, що масштабним спотворенням цифрових РЕМ-зображень, отриманих на цьому типі РЕМ, властивий систематичний характер, незалежно від величини збільшення вони складають приблизно -2% уздовж осі х знімку і -4% уздовж осі у знімку. Величини геометричних спотворень РЕМ-зображень значні, зростають із збільшенням масштабу, також мають систематичний характер і можуть бути враховані за допомогою поліноміальної апроксимації.

 

  1. Boyde A., Ross H.F. Photogrammetry and Scanning electron microscopy // Photogrammetric Record.-1975.-Vol.8.-№46.-P.408-457.
  2. Burkhardt R. Untersuchungen zur kalibrirung eines Elektronen mikroskopes // Mitt. geod. Inst. Techn. Univ. Graz.-1980.-№35.
  3. Ghosh S. K. Photogrammetric calibration of a scanning electron microscope // Photogrammetria.-1975.-V.31.-№31.-P.91-114.
  4. Ghosh S. K., Nagaraja H. Scanning Electron Micrography and Phtogrammetry // Photogrammetric Engineering and Remote Sensing.- 1976.-Vol.42.-№5.-P.649-657.
  5. Howell P. A practical method for the correction of distortions in SEM photogrammetry // Proc. Of the Annual Scanning Electron Microscope Symposium. Chicago, Illinois.-1975.-P.199-206.
  6. Іванчук О.М. Методи оперативного фотограмметричного опрацювання знімків, отриманих на растрових електронних мікроскопах: Автореф. дис. на здоб. наук. ст. канд. техн. наук.-Львів, 2000.-18 с.
  7. Іванчук О., Хрупін І. Структура та функції програмного комплексу «Dimicros» для опрацювання РЕМ-зображень на цифровій фотограмметричній станції // Сучасні досягнення геодезичної науки та виробництва.- Львів, 2008. Вип. I(23).-С.193-197.
  8. Костышин М.Т., Мустафин К.С. Квантовая электроника.-1982.-Вып.23.-С.29-33.
  9. Калантаров Е.И., Сагындыкова М.Ж. Фотограмметрическая калибровка электронных микроскопов // Изв. вузов. Геодезия и аэрофотосъемка.-1983.-№4.-С.76-80.
  10. Мельник В.Н., Соколов В.Н., Иванчук О.М., Тумская О.В., Шебатинов М.П. Калибровка геометрических искажений РЭМ-снимков // Рук. деп. в ВИНИТИ.-1984.-№528.-С.18.
  11. Мельник В.М. Растрово-електронна стереомікрофракторафія. Монографія / Мельник В.М., Шостак А.В. - Луцьк: «Вежа», 2009. - 469 с.
  12. Финковский В.Я., Мельник В.Н., Иванчук О.М. К теории фотограмметрической обработки РЭМ-снимков // Геодезия и картография.-1984.-№2.-С.29-33.
  13. Шостак А.В. Методи і моделі мікрофотограмметрії у прикладних наукових дослідженнях: Автореф. дис. на здоб. наук. ст. докт. техн. наук.-Київ, 2012.-28 с.