напівпровідник

Оцінювання температурної залежності механічного стану резонатора вібраційно-частотного сенсора

Розглянуто комплекс технолого-метрологічних досліджень щодо розробки методів посадки і закріплення ниткоподібних монокристалів на різних матеріалах підкладок (пружних елементів). Показано шляхи уникнення неконтрольованих спотворень вихідної бездефектної структури монокристала, які можуть виникати у вузлах його кріплення і знижувати добротність коливань резонатора, яка є основною характеристикою якості тензоперетворювача.