1. CDS-archive
  2. Всі випуски
  3. Номер 828, 2015
  4. Application of structural matrices for the simulation of MEMS devices

Application of structural matrices for the simulation of MEMS devices

CDS-archive.
2015;
, Номер 828
: ст. 53 – 56
Authors: 

Karkulovskyi B., Karkulovskyy V., Kryvyy R., Panchak R., Pauchok O.

B. Karkulovskyi1, V. Karkulovskyy2, R. Kryvyy2, R. Panchak2, O. Pauchok2

  1. Lviv Polytechnic National University, ISM Department.
  2. Lviv Polytechnic National University, CAD Department.

Розглянуто підхід до моделювання МЕМС пристроїв із використанням методу структурних матриць. Розроблено структуру підсистеми для визначення основних характеристик широкого класу пристроїв.

МЕМС пристрій
математична модель
диференціальне рівняння
структурні матриці
  1. Теслюк В. М. Автоматизація проектування мікроелектромеханічних систем на компо- нентному рівні: монографія / В. М. Теслюк, П. Ю. Денисюк. – Л.: Вид-во Нац. ун-ту "Львівська політехніка", 2011.
  2. Karkulovskyi B. Modeling method for mechanical microsystems elements / Karkulovskyi B., Teslyuk V, Kernytskyy A. // Вісник Нац. ун-ту "Львівська політехніка". Комп'ютерні системи проектування. Теорія і практика. – Л.: Вид-во Львівської політехніки, 2012. – № 747. – С. 147–149. – 192 c.
  3. Шатихин Л. Г. Структурные матрицы и их применение для исследования систем / Л. Г. Шатихин. – М.: Машиностроение, 1991. – 256 с.