Сьогодні розвиток промисловості породжує нові та дедалі складніші технологічні процеси, що є джерелом появи специфічних умов експлуатації сенсорів і, відповідно, специфічних вимірювальних задач. Сказане першочергово диктує вимоги як до методів вимірювання, так і до сенсорів, що реалізують ці методи. Здобутки мікроелектронних технологій та матеріалознавства зумовили появу значної кількості типів сенсорів тиску. Однак останніми роками, незважаючи на кількісне зростання номенклатури сенсорів, саме у високотехнологічних галузях різко зросла потреба у сенсорах тиску з принципово новими можливостями і характеристиками. Ця потреба зумовлена необхідністю вимірювання швидкозмінного нестаціонарного тиску в реальному часі, з регламентованим значенням похибки, здебільшого у межах статичної. Зважаючи на це, в цій роботі проаналізовано особливості під час вимірювання нестаціонарного тиску в реальному часі і окреслено необхідні і достатні вимоги до характеристик сенсорів, що дають змогу їх ефективно використовувати. Тому метою роботи є аналіз вимірювання нестаціонарного тиску у реальному часі, скеровано на виявлення особливостей вимірювальної задачі та розроблення способів її розв’язання.
- Mokrov E. A. Scientific institute of the physical measurements: 45 years in space instrument making. Sensors and systems. – 2005. – No. 9. – p. 2–3 (in Russian).
- Markelov I. G. Complex of pressure sensors for exploitation on the objects of nuclear energy. Sensors & Systems. – 2000. No. 11–12. –
p. 24–25 (in Russian). - Sensors Web Portal: http://www.sensorsportal.com/html/sensors/Pressure.htm
- Sokolov L.V. An analysis of increasing requirements of micromechanics sensors and MEMS. Sensors and systems. – 2005. – No. 6. –
Р. 41–43.(in Russian). - Jackson R. G. The newest sensors / R. G. Jackson. – M.: Technospere, 2007. – 384 p.
- Tykhan M. The pressure sensor with self-diagnostics / М. Tykhan, e.t.c. // IX Scientific Conference on Optoelectronic and Electronic Sensors. Krakow-Zakopane, Poland. June 19–22. – 2006 – P. 85–88 (in Polish).
- Tykhan M. O. To the question of dynamics of pressure transducers / M. O.Tykhan // Automation of production processes and technical control in machine building and instrument making. Proc. of Lviv Polytechnic National University. – 2005. – No. 39. – P. 104–109
(in Ukrainian). - Tykhan M. O. Optimization of parameters elastic elements of piezoresistive pressure sensor by means of dynamic characteristics / M.O.Tykhan // Measuring technique and metrology. Proc. of Lviv Polytechnic National University. – 2011. – No. 72. – p. 82–88
(in Ukrainian). - Tykhan M. O. Evaluation of error of piezoresistive sensor of dynamic pressure / M. O. Tykhan // Optimization of production processes and technical control in machine building and instrument making. Proc. of Lviv Polytechnic National University. – 1995. – No. 290. – р. 91–96 (in Ukrainian).
- Solopchenko G. N. Compensation of dynamic errors with incomplete information about the properties of the instrument and the measurement signal / G. N. Solopchenko [and others] // Metrology. – M., 1979. – No. 8. – p. 3–13 (in Russian).
- Solopchenko G. N. Methods for taking into account the priori information in the correction of the measurement error in the measurement computation channel in the dynamic mode / G. N. Solopchenko [and others] // Research in the field of evaluation of measurement errors: Digest of scientific proceedings VNIIM. – M., 1986. – p. 27–31 (in Russian).
- Burovtseva T. I., Zvyagintsev A. M. Correction of sensor error by the methods of fuzzy logic / T. I. Burovtseva, A. M. Zvyagintsev // Sensors and systems. – 1999. – No. 7. – p. 14–21 (in Russian).
- Granovsky V. A. Estimation and correction of dynamic error of measuring instruments / V. A. Granovsky, Y. S. Etinger // Research in the field of evaluation of measurement errors: Digest of scientific proceedings VNIIM. – Leningrad, 1986. – p. 32–35 (in Russian).
- Zemelman M. A. Automatic correction of errors of measuring devices / M. A. Zemelman. – M.: Publishing House of Standards, 1972. –
199 p. (in Russian). - Vasylenko G. I. Theory of restoration of signals: About reduction to the ideal device in physics and technique. – М.: Sov. radio, 1979. – p. 272 (in Russian).
- Azizov A. M. Precision of measuring transducers / A. M. Azizov, A. N. Gordov. – – L.: Energy, 1975. – 256 p. (in Russian).
- Tikhonov A. N. Methods for solving the incorrect problems / A. N. Tikhonov, V. Y. Arsenin. – 2nd Publishing. – M.: Nauka, 1979. – 284 p. (in Russian).
- Tikhonov A. N. Regularizing algorithms and prior information / A. N. Tikhonov [and others] . – M.: Nauka, 1983. – 197 p. (in Russian).