ОПТОЕЛЕКТРОННИЙ КВАРЦОВИЙ СЕНСОР СИЛИ ТА ТИСКУ

Сенсори з частотним вихідним сигналом відзначаються з особливо високою точністю, її легко комутувати, а сигнали передавати на великі відстані. Основним елементом таких сенсорів є електромеханічний осцилятор, включений у зворотний зв’язок автогенератора. Струнні металеві осцилятори не забезпечують необхідну точність вимірювань через незадовільну пружність, гістерезис, релаксацією, та часову нестабільність металів. Створення осциляторів з кварцу та кремнію, при досконалості цих матеріалів, є складним через технологічні проблеми з виготовленням елементів цих осциляторів та погодженням температурних коефіцієнтів різних матеріалів, які при цьому використовуються. Авторами запропоновано кварцовий сенсор без осциллятора, виготовлений з кварцових елементів. Частотний вихідний сигнал отримано завдяки використанню опто-електронних засобів. Оцінено основні метрологічні характеристики.