растровий електронний мікроскоп (РЕМ)

Мета. Метою даної роботи було розроблення і дослідження методів класифікації текстур РЕМ-зображень мікроповерхонь об'єктів на основі  статистичних та спектральних  характеристик текстурних фрагментів, а також порівняльного аналізу методів сегментації РЕМ-зображень. Методи. Визначення характеристик текстури РEM-зображень ґрунтувалось на статистичних моментах, розрахованих за гістограмою яскравості. Спектральні міри текстури обчислювались за спектром Фур’є.

Мета. Метою даної роботи є розроблення і дослідження методу автоматизованої побудови цифрової моделі мікроповерхні об'єкта з використанням стереопари цифрових РEM-зображень з урахуванням специфіки РEM-знімання і оцінки точності цифрового моделювання. Методи. Розроблений метод полягає, по-перше, у генеруванні щільного набору вхідних точок на лівому РEM-зображенні стереопари в областях з локальними особливостями і використанні ітераційного процесу за рівнями піраміди зображень.

Мета. Метою цієї роботи є встановлення та дослідження фрактальних та метричних характеристик зображень, отриманих за допомогою растрових електронних мікроскопів (РЕМ). Методика. Дослідження ґрунтуються на опрацюванні даних вимірювань цифрових РЕМ-зображень тест-об’єкта, отриманих на чотирьох типах сучасних РЕМ у діапазоні збільшень від 1000х до 30000х (крат). Результати. Встановлено аналітичне співвідношення між фіксованим на шкалі приладу і “фрактальним” збільшенням (масштабом).

За допомогою вимірювань цифрових РЕМ-зображень спеціального тест-об'єкта з дозволом r = 1425 лін / мм, отриманих на РЕМ JCM-5000 (NeoScope), визначено їх справжні збільшення (масштаб) уздовж осей x і y РЕМ-знімків в діапазоні збільшень РЕМ від 1000х до 40000х (крат). Встановлено, що масштабні спотворення цифрових РЕМ-зображень, отриманих на цьому типі РЕМ, не перевищують ± 1% незалежно від величини збільшення і осей знімка.

Мета. Цифровим РЕМ-зображенням внаслідок різноманітних фізичних факторів роботи растрових електронних мікроскопів притаманні значні геометричні спотворення. Метою цього дослідження є їх встановлення та ефективне врахування для підвищення точності отримання просторових кількісних параметрів мікроповерхонь об’єктів, які досліджуються за допомогою РЕМ. Завдання це є вкрай важливим, особливо тепер, зокрема, за потреби контролю технологічних процесів виробництва на мікронному та субмікронному рівнях у машинобудуванні, мікроелектроніці та багатьох інших.

За результатами вимірювань цифрових РЕМ-зображень тест-сітки з дозволом 1425лін / мм, отриманих на цифровому РЕМ DSM-960A (Carl Zeiss, Німеччина), визначені їх масштабні і геометричні спотворення в діапазоні збільшень РЕМ від 1000х до 20000х. Встановлено, що масштабним спотворенням цифрових РЕМ-зображень, отриманих на цьому типі РЕМ, властивий систематичний характер, незалежно від величини збільшення вони складають приблизно -2% уздовж осі х знімку і -4% уздовж осі у знімку.

Мета. Цифровим зображенням мікроповерхонь твердих тіл, отриманим на растрових електронних мікроскопах (РЕМ), притаманні суттєві геометричні спотворення, які необхідно встановити і врахувати під час визначення кількісних параметрів мікроповерхонь твердих тіл з високою точністю. Тому це завдання є важливим і актуальним, особливо під час контролю якості процесів високотехнологічного виробництва з застосуванням нанотехнологій, зокрема, у машинобудуванні, літакобудуванні, під час створення космічної та військової техніки.

Мета. Відомо, що цифровим зображенням мікроповерхонь твердих тіл, отриманим на растрових електронних мікроскопах (РЕМ) різних типів, притаманні значні геометричні спотворення, які можна розділити на дві групи: лінійні (масштабні) і нелінійні (дисторсійні). Їх встановлення і врахування є вкрай важливим завданням, особливо під час створення різноманітних мікропристроїв із застосуванням сучасних нанотехнологій. Це запорука їх надійності, точності та ефективності.