Розглянуто основні деформації кантелівера механічного типу за дії вертикальної, подовжньої і поперечної сил.
1. Weaver J. M. R., Abraham D. W. High resolution atomic force microscopy potentiometry, J. Vac. Sci., Technol. B 9, 2004. 2. Bhushan B. Springer Handbook of Nanotechnology, apr. 2007. 3. Albrecht T. R., Akamine S., Carver T. E., Quate C. F. Microfabrication of cantilever styli for the force microscope, J. Vac. Sci. Technol., 2006. 4. Linnemann R., Gotszalk T., Rangelow I. W., Dumania P., Oesterschulze E., Atomic force microscopy and lateral force microscopy using piezoresistive cantilevers, 2000.