In micro- and nanotechnology, the demands placed on measurement technology are increasing. The structures to be measured are becoming more complex with smaller structure widths, increasingly larger surface regions, and thousands of inspection features. To solve the problems, it has become desirable and even necessary to combine multi-sensor technology with high precision nanopositioning and nano measuring technology.
Подано опис експериментального устаткування для відпрацювання способу вимірювання температури розплаву металу за допомогою оптичного волоконного пірометра. Температуру запропоновано вимірювати, занурюючи зонд у метал крізь шар шлаку.
Розглянуто основні деформації кантелівера механічного типу за дії вертикальної, подовжньої і поперечної сил.
This paper is considered and analyzes the modulation mode by scanning the surface of an atomic force microscope based cantilever mechanical type. The developed method for calculating the forces Van der Vals to configure the interaction of bodies.