Article contains design and researching of capacitive pressure sensor's model in the Comsol environment. Model constructing algorithm applied by using Comsol package.
- Лучинин В. В. Микросистемная техника. Направления и тенденции развития / В. В. Лучинин // Научное приборостроение. – 1999. – Т. 9, № 1. – С. 3–18.
- Климов Д. М. Перспективы развития микросистемной техники в XXI веке / Климов Д. М., Васильев А. А., Лучинин В. В., Мальцев П. П. // Микросистемная техника. – 1999. – № 1. – С. 3–6.
- Норенков И. П. Основы теории и проектирования САПР / Норенков И. П. – М.: Высш. шк., 1990. – 334 с.
- Готра З. Ю. Мікроелектронні сигнальні перетворювачі теплових сенсорів потоку : монографія / З. Ю. Готра, С. В. Павлов, Р. Л. Голяка та ін. – Вінниця : ВНТУ, 2012. – 240 с.
- Бурштинський М. В. Давачі / М. В. Бурштинський, М. В. Хай, Харчишин Б. М. – 2-ге вид. доповн. – Львів : ТзОВ “Простір М”, 2014. – 202 с.
- Фрайден Дж. Современные датчики : справочник / Дж. Фрайден. – М.: Техносфера, 2005. – 592 с.
- Pryor R. W. Multiphysics Modeling Using COMSOL: A First Principles Approach. Boston, USA: Jones and Bartlett Publishers, 2011.